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真空蒸发镀膜法的工作原理

作者:奥固鸿已有:N多人关注
真空蒸发镀膜法简称真空镀膜,是在真空室中加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料,使其原子或分子从表面气化逸出,形成蒸汽流,入射到固体(称为衬底或基片)表面,凝结形成固态薄膜的方法。由于真空蒸发法或真空蒸镀法主要的物理过程是通过加热蒸发材料而产生的,所以又称热蒸发法。
任何物质在一定温度下,总有一些分子从凝聚态(固态或液态)变成气态离开物质表面,但固体在常温常压下,这种蒸发量是极微小的。如果将固体材料置于真空中加热至此材料蒸发温度时,在汽化热的作用下,材料的分子或原子具有足够的热震动能量去克服固体表面原子间的吸引力,并以一定速度逸出变成气态分子或原子向四周迅速蒸发散射。
真空蒸发镀膜法是在高真空中,将镀膜材料加热到高温,相应温度下的饱和蒸汽就在真空槽中散发,蒸发原子在各个方向的通量并不相等。基体设在蒸汽源的上方阻挡蒸汽流,且使基体保持相对较低的温度,蒸汽则在其上形成凝固膜。
目前,采用真空蒸镀法生产镀膜玻璃均是间歇式生产,其工艺流程如图所示。
真空蒸发镀膜可分为电阻蒸发源蒸镀法、电子束蒸发源蒸镀法、高频感应蒸发源蒸镀法以及激光束蒸发源蒸镀法四种方式。

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